半自动四探针

FPP150 是专为科学研究设计的四探针电阻率测量仪，可以对最大 6 英寸晶圆的方阻、电阻率、电导率参数进行测量。探针头借鉴了机械钟表机芯的制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。0.1 µΩ ∼ 100 MΩ 的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景。配套 Smart FPP软件可以根据样品几何参数自动修正测量结果，轻松获得方阻、电阻率、电导率信息。FPP150 可广泛适用于光伏、半导体、合金、导电膜等诸多领域。

● 半导体及太阳能电池（单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿）

●液晶面板（ITO/AZO）

● 功能材料（热电材料、碳纳米管、石墨烯、纳米线、导电纤维、复合材料）

● 半导体工艺检测（金属化/离子注入/扩散层）

● 非晶合金等、形状记忆合金

● 精密探针头：镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命

● 超宽测量范围：0.1 µΩ ∼ 100 MΩ(FPP150A) 1 µΩ ∼ 2 MΩ(FPP150B)

● 最大样品尺寸：150 mm ∗ 70 mm （直径 ∗ 厚度）

● 测量精度：±1%

● 重复性 (1σ)：±0.2%（动态测试） 0.02%（静态测试）

● 数据可视化：配套Smart FPP软件，对测量结果自动进行几何参数修正和统计分析