全自动扫描四探针

RM150A是专为科学研究设计的扫描四探针电阻测试仪，可以对最大150mm样品(或6英寸晶圆)进行快速、自动的扫描，获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺，使用红宝石轴承引导碳化钨探针，确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%，为行业领先水平。1 μΩ~1 MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景，可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。

● 半导体及太阳能电池(单晶硅、多晶硅、钙钛矿)

● 液晶面板(ITO/AZO)

● 功能材料(热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布)

● 半导体工艺(金属层/离子注入/扩散层)、非晶合金

● 全自动多点扫描:多种预设方案供选择，也可以自定义测试方案

● 手动任意点测量:只需提供坐标，一键测量

● 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头，保证测量的机械精度、稳定性和寿命

● 超宽测量范围: 1 μΩ~1 MΩ

● 最大样品尺寸: 150 mm*150 mm* 5 mm

● 测量速度: ~2秒/点

● 测量精度:土1%

● 重复性(1σ):士0.2% (ITO标样动态测试)

●数据可视化:彩色编码图

●数据自动存储:存储为EXCEL格式，便于后期数据分析